Chinese chipmaker AMEC lanceert zes machines om afhankelijkheid VS te verkleinen

Advanced Micro-Fabrication Equipment, kortweg AMEC, toonde de zes machines op 2 september tijdens een industrieconferentie in het Chinese Wuxi. Het gaat om apparatuur voor etsen, depositie en de productie van vermogenschips op basis van siliciumcarbide. Vier van de zes nieuwe producten zijn depositiemachines, wat opvalt omdat AMEC tot nu toe vooral naam maakte met etsapparatuur.

Etsen en depositie zijn twee kernprocessen die tijdens de productie van een chip talloze keren worden herhaald. Bij depositie wordt een extreem dun laagje materiaal op een wafer aangebracht, soms maar een paar nanometer dik. Dat laagje kan een geleider, isolator of halfgeleidermateriaal zijn. Etsapparatuur doet in feite het tegenovergestelde: het verwijdert selectief materiaal, zodat patronen uit eerdere productiestappen in de onderliggende lagen worden overgebracht. Een moderne chip doorloopt honderden van dit soort stappen voordat transistors en verbindingen af zijn.

Van specialist naar allroundleverancier

Met de vier nieuwe depositiemachines zet AMEC een grote stap buiten zijn traditionele kernactiviteit. Het bedrijf wil zich ontwikkelen tot een bredere leverancier van chipproductieapparatuur, in plaats van een specialist die zich beperkt tot één stap in het productieproces.

Ook toonde AMEC apparatuur voor de productie van siliciumcarbide-chips (SiC). Dit materiaal wordt steeds vaker gebruikt in vermogenselektronica, omdat het bij hogere spanningen en temperaturen kan werken met minder energieverlies dan gewone silicium-chips. Dat maakt SiC aantrekkelijk voor elektrische auto's, laadinfrastructuur en industriële stroomsystemen, waar efficiëntie en warmteafvoer belangrijk zijn.

Minder afhankelijk van het buitenland

De zes machines bevinden zich in verschillende fasen van commercialisering. Dat betekent dat niet alle apparatuur al op grote schaal in fabrieken wordt gebruikt: de weg van ontwikkeling naar volledige inzet vergt uitgebreide tests, omdat chipfabrikanten extreem hoge eisen stellen aan precisie en betrouwbaarheid bij continu gebruik.

De uitbreiding van AMEC past in een bredere Chinese strategie om minder afhankelijk te worden van buitenlandse chipapparatuur. Chinese fabrikanten leunen nog altijd zwaar op buitenlandse toeleveranciers voor belangrijke productiemachines, terwijl exportbeperkingen van de Verenigde Staten en bondgenoten de toegang tot de meest geavanceerde technologie beperken. Die druk zet Chinese bedrijven ertoe aan om zelf alternatieven te ontwikkelen voor de hele halfgeleiderketen. Voor AMEC betekenen de zes nieuwe machines dus meer dan alleen nieuwe producten: het is een poging om uit te groeien tot een leverancier die een groter deel van de benodigde apparatuur in Chinese chipfabrieken kan leveren.